太陽光発電 LPCVD 石英ボート セラミック吸引カップ

LPCVD カンチレバー ボートセラミック真空吸盤主に半導体太陽光発電産業における薄膜の作製に使用されます。例えば、拡散ローダーおよびアンローダーであるカンチレバーボートは、拡散ローダーの重要なコンポーネントであり、主に拡散前後のシリコンウェーハのロードおよびアンローディングに使用されます。

高精度の耐摩耗性と高精度の材料を使用したカンチレバー ボートまたは積み降ろし部品・耐熱性セラミック構造 ロボットアームは通常50個の真空吸着カップで構成されており、一度に50枚のシリコンウェハをロードおよびアンロードすることができます。セラミック構造のカンチレバーボートは、変形がなく、汚染がなく、メンテナンスが簡単であるという利点があります。カンチレバー ボートは、真空吸引カップの吸引力とシリコン ウェーハの重量を利用してソフト ランディング方式でシリコン ウェーハを積み降ろしするため、車両の破片率と精度要件を大幅に軽減できます。真空吸盤1枚の誤差は0.005mm以内に制御でき、50枚の積み重ね誤差は0.2mmを超えません.

LPCVD 石英ボート、拡散石英ボート、ジルコニア キャリア ボートが主に使用されます。半導体太陽光発電産業向けの薄膜の製造。 LPCVD (低圧化学気相成長) プロセスでは、石英ボートが反応チャンバー内でシリコン ウェーハを搬送します。

明瑞陶磁器制作セラミック石英ボートトレイと吸盤を使用耐摩耗性と耐高温性のジルコニアセラミック材料は現在、主に4.76と2.38の2種類のピッチに分かれています。ジルコニア石英ボートは高強度で、変形しにくく、汚染がありません。拡散プロセス中にボートに付着するため、通常の石英ボートよりもメンテナンスが容易です。